型号:5810i
Simco-Ion 5810i 悬挂型离子风机,设计配合关键环境的要求,拥有业界先的离子平衡控制能;取得ISO Class 4 洁净房内使用的认,在洁净环境下,提供越的能。采用用的稳态直流电离技术,能消除 ESD 和所引起的电磁干扰,在先进生产设施内,也可提供离子输出。能外接感应器,随环境调整离子输出,以达至和维持 少于 ±1 V 的离子平衡。
5810i 选用 Silicon Free 空气轴承风扇,每个风扇的其他部分和外壳,都是封和经过清洁处,完全符合现今洁净房的生产环境,兼容关键洁净的制程。如使用的离子风机,不符合洁净标准,会有污染制程的,低良率。
5810i 离子风机可利用 AC 输出接口串联其他的 5810i离子风机共同工作,多可串联十台。
特点
±3 V 或好的离子平衡 (配合选配的外接回馈系统能达至±1 V)
选配的外接感应器,设备控接口,报警和控制管
选配的自动清洁系统
点
在电晕放电技术的静电防中,提供保和产出
提供瞬时报警通知,和避擅自调整能和风速
自动清洁静电组,少维时间和成本
±1V 操作
5810i 离子风机的选配外接感应器, 可接连Novx Process Monitor 7000 系列,Novx 被动测系统 3352 系列,和Novx 主动测系统3362 系列,作出测和自动调整离子平衡。把天线放到目标位置, 信号会回馈到 5810i的控制线路,以达到和维持离子平衡在±1 V或好的能。
风速选择
5810i 离子风机的设计是特别为了符合 ISO14644 1 Class 4 或好的洁净环境使用。风机的风速和风量可调节,以低对洁净房层流风的影响,达到静电防控的果。
设备控接口
选配的气流定向器能叠加在风机上,把气流直接吹向目标,算在比较远的工作距离,也可避离子分散和互相结合的问题,维持越的消散时间。