品牌:纳动纳米
分辨率:0.1 nm
承载能力:30 N
谐振频率（0g）:3000 Hz
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供应:100台
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产品描述PS2H45系列由两维X轴叠加组合，沿X，Y轴提供12、30、50、70或100 µm的运动范围。（标准产品行程为12μm，其它行程均可定制）。
PS2H45系列纳米--器是我们高速产品线的部分，可提供大率控制器，使其进行超高速驱动运动。
PS2H45-012U系列是具有纳米--分辨率的高速，多轴，精纳米--系统。本系列产品提供大的多能。可选配内部位置传感器进行闭环，可进行重的位置测量。
积小，具有超高谐振频率，高稳定，高精度使其非常适合需要低噪声和高速能的计量应用。参数可根据客户要求定制。
PS2H45-012U系列压电陶瓷元件直接移动工作台面，具有高刚，即使在高负载下可实现稳定--。
产品特
—高速1ms响应，多轴--
—超快的响应时间
—亚纳米范围内的高分辨率
—高度紧凑的设计带来卓越的能
选配能
—可定制固定、负载安装孔位及转接装置
—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度
—可选配闭环(SGS) 位置反馈系
—可提供XZ/XYZ版本
应用域
—高运动平面度和直线度的纳米--
—测量、计量
—掩模/晶圆--
—表面测量技术